晶圆探针和探针台主要作用和应用
晶圆探针和探针台主要作用和应用有:
设备信号检测。晶圆探针和探针台可用于检测半导体设备内各种电感信号,包括电流、电压、电阻等信号,从而判断设备性能是否正常。这是半导体生产线上检测设备可靠性的基础。
信号输入。通过晶圆探针和探针台,外部信号可输入半导体设备内进行测试、调节或控制操作。例如输入频率信号对振荡器进行测试。
物理参数检测。如探针台上提供的定位运动构件可以实现探针在微小范围内的高精度定位,从而对晶圆上的微小物理特征进行检测,例如晶圆表面粗糙度检测等。
电流或信号分布检测。当探针台上配备多个齐头排列的探针孔,可以通过这些探针同时扫描整个晶圆表面或设备,检测电流或信号在设备内或晶圆表面上spatial分布的变化,分析问题原因。
机电连接。探针台也可作机电连接板使用,通过将设备引线同时焊接到探针台上,实现多个设备之间或设备与外部电路之间的连接。常用在各种传感器连接等场合。
可替代 bonding ワイヤ。在部分场合,晶圆探针与探针台也可以替代旅行线或 bonding 线实现各点之间的临时或**机电连接,尤其是在检查、修复或检测阶段。操作更随意便捷。
综上,晶圆探针和探针台在半导体生产线上具有广泛的作用和应用,尤其在检测、连接、输入输出各个方面发挥重要作用,改善生产效率并提高产品质量。与此同时,合理选择探针尺寸、精度及材质也有重要影响,需要根据实际需求进行匹配選用。
